核心技術
隨著信息時代的到來,作為電子工業的核心—超大規模集成電路有著巨大的市場需求。在集成電路生產的幾百道工序中,其80%以上需高純水清洗。水中的各種超微量雜質都會對產品產生重要影響。因此,VLSI和 ULSI對水質的要求成為高純水水質的極至。電子工業中其他部門對純水和超純水均有著廣泛的需求,如彩色顯像管的生產等等。
超純水水質已成為影響電子元器件產品質量、生產成品率及生產成本的重要因素之一。超純水在電子工業主要是電子元器件生產中的重要作用日益突出。半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備,這是一種制取超純水的首選工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝。
電子工業用超純水的應用領域
1)半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路。
2)超純材料和超純化學試劑。
3)實驗室和中試車間。
4)汽車、家電表面拋光處理。
5)光電產品。
6)其他高科技精微產品。
制備電子工業用超純水的工藝流程
電子行業制備超純水的工藝大致分成以下幾種:
方案一:
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15 MΩ•cm)
方案二:
預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-二級反滲透-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥17 MΩ•cm)
方案三:
預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18 MΩ•cm)
在電子光學超純水設備設計上,通常采用成熟、可靠、先進、自動化程度高的兩級RO+EDI+精混床除鹽水處理工藝;或者是全膜法處理工藝:UF+二級RO+EDI+拋光混床。確保處理后出水電阻率達到18 MΩ•cm以上。