核心技術
超純水設備在電子行業應用比較廣泛,電子行業通常用超純水清洗鋁箔和工作件,此外在集合電路生產中用超純水來清洗硅片。還有液晶顯示器屏幕需要超純水和配置液來清洗。
電子行業用超純水典型工藝流程
1、預處理系統-反滲透系統-中間水箱-粗混合床-精混合床-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-精密過濾器-用水對象 (≥18MΩ.CM)(傳統工藝)。
2、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-拋光混床-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥18MΩ.CM)(最新工藝)。
3、預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純水箱-純水泵-EDI裝置-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥17MΩ.CM) (最新工藝)。
4、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象(≥15MΩ.CM)(最新工藝)。
5、處理系統-反滲透系統-中間水箱-純水泵-粗混合床-精混合床-紫外線殺菌器-精密過濾器-用水對象 (≥15MΩ.CM)(傳統工藝)。
電子行業用超純水設備特點
電子行業超純水需要符合標準水質,通常以國家自來水標準水位源水,在工藝選材方面參考客戶要求,具有更高性價比和可靠性。