隨著電子半導體行業的蓬勃發展,電子半導體行業對產品的生產要求也是越來越高,生產用水也是需要用極高的超純水。電子半導體行業超純水設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設有液位控制系統、高低壓水泵均設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人值守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法,使該設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
半導體是一種介于導體和絕緣體之間的材料,在半導體加工過程中需要使用水進行處理,該水質的要求比較高,不能含有任何離子雜質。半導體行業用超純水設備采用先進的制水技術,有效去除水中雜質,保證設備的出水水質。
超純水設備應用范圍
1、電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗。
2、電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液。
3、顯像管和陰極射線管生產、配料用純水。
4、黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管徑清洗用純水。
5、液晶顯示器的生產、平面需用純水清洗及純水配液。.
6、晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制。
7、集成電路生產中高純水清洗硅片、高品質顯像管、熒光粉生產。
8、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路。
9、LCD、LED液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏。
10、超純材料和超純化學試劑、超純化工材料、實驗室和中試車間。
11、汽車、家電表面拋光處理、光電產品、其他高科技精微產品。
電子半導體行業用超純水設備制備工藝
1、預處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
2、預處理-一級反滲透-加藥機(PH調節)-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
3、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
4、預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制拋光混床-TOC分解器-0.2或0.5μm精密過濾器-用水對象
以上是半導體行業用超純水設備的簡單介紹,北京惠源三達公司有著雄厚的技術力量及豐富的工程實施經驗,為客戶量身制作適合的解決方案。